測定方法:
①在防靜電的室內(丙烯樹脂制、不銹鋼制)設置氣缸
②提供與顆粒計數器吸入量(28.3/min)相同流量的潔凈空氣(0.1μm過濾器)
③在不動作狀態,確認顆粒計數器的值為“0”
④使氣缸動作,測量動作中產生的顆粒
※使用帶密封的測試室,以確保除氣缸發塵外,其他的顆粒不進入室內
測定條件:
空氣
氣缸驅動用:「等2.2.1」(JISB8392-1)
凈化用:「等2.2.1」+0.1μm氣體過濾器
氣缸供應壓力:0.5MPa
氣缸動作速度:一般速度(200mm/s)
動作條件:無負荷、水平設置(與凈化流量平行)
對排氣處理型的溢流氣口配管,排放到測試室外
對真空除塵型的真空除塵氣口配管,進行真空除塵(-26KPa)